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广州增芯项目搬入光刻机,准备调试投产

来源:大半导体产业网    2024-03-12

增芯项目搬入光刻机,旨在打造国内第一条12英寸智能传感器(MEMS)及特色工艺生产线

据增芯科技官微消息,3月11日,广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目在广州增城开发区举行光刻机搬入活动,标志着增芯项目顺利进入调试投产准备阶段。

据悉,增芯项目是省、市重点项目,打造国内第一条12英寸智能传感器(MEMS)及特色工艺生产线,对增城乃至广州、广东集成电路产业发展具有重要意义。增芯项目占地面积达370亩,分两期建设,此前披露消息显示,一期批复投资70亿元,总投资达370亿元。根据规划,将建设月加工能力达2万片的12英寸MEMS制造生产线,预计2024年6月通线。


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