日本半导体制造装置协会(SEAJ)统计数据显示，2022年5月份日本制芯片设备销售额较去年同月增长0.8%至3077.18亿日元(152.32亿元人民币)，连续第17个月呈现增长，月销售额创下历史次高纪录。2022年1-5月期间日本芯片设备累计销售额达1兆5291.17亿日元(756.91亿元人民币)，较去年同期飙涨28%，销售额创历年同期历史新高纪录。